超音波映像装置FineSAT III
一、概要
超音波映像装置FineSATは、超音波非破壊を用いて半導体パッケージ、電子部品、セラミックス、金属樹脂部品などの内部ボイド、クラック、リフトオフなどの欠陥映像を得る装置である。X線装置、赤外線検査装置、光学顕微鏡では検出できないナノスケールの隙間も検出できる。
FineSAT IIIはFineSATの第3世代であり、高評価の解像度などの基本機能をより高いレベルに引き上げるとともに、高速自動測定、透過・反射同時測定、自動欠陥判断機能などを含む各種分析ソフトウェアを充実させている。また、探傷データの一括保存などの使い勝手も向上し、生産ラインでの大量検査から研究、開発など幅広い用途に適している。
二、特徴
開口部が大きく、安全性を高めるまた、開口部(開口部が拡大し、サンプルの出し入れが容易)に誤操作を防止するエリアセンサを設置するなど、機械・電気事故を防止する機構を標準装備している。
作業ニーズにきめ細かく対応
小サンプルを固定しやすい磁気板、日常点検に欠かせない標準試験片などを搭載。このほか、ソフトウェアにおいても、ヘルプ機能の充実などに代表される日常的な操作性の向上に対して極めて微細に対応しています。
使い勝手と安全性の追求
より使いやすく、より安全に作業するために、両側の大型ウィンドウ、LED照明、電源スイッチの保護カバー、前面の透明板の取付・取り外しが可能など、細部にわたって工夫されています。
曲がったプリント配線板を固定する治具や、測定時にサンプル裏面に水がかからないようにする局所浸水装置などもありますので、お気軽にお問い合わせください。

三、機能
種類豊富なプローブ

反射法に用いる場合、低周波から高周波、短焦点から長焦点まで、測定対象と測定条件に適したプローブが豊富に揃っているほか、透過法プローブも一通りそろっており、適切な顧客の測定対象のプローブを見つけることができる。適切なプローブを選択するのにも役立ちます。
*また、測定対象物が水中にないように測定対象物を製造するための局所浸水型プローブをご希望に応じて製造することもできます。
さらに進化したFineSAT IIIの解析ソフトウェア
FineSAT IIIは波形解析、測定、スプリット判定、深さ情報などの解析ソフトウェアをさらに発展させた
リアルタイムで±位相、強度、深さデータを比較することができます。また、波形重畳表示時には、異なる時間軸であっても自動的に時間軸を調整して保存することができる。また、独自の画素間補間処理や自動コントラストなどの方法により、よりわかりやすいデータを難なく得ることができる。
マルチゲート機能では、最大64個のゲートフィールドを設定でき、各ゲート内データと測定条件を一括保存し、1ファイルに画像データを保存する機能を標準装備している。
また、すべての点の波形を導入し、シャッタ位置をオフラインで変更し、映像を再描画する機能も標準装備されている。FFT解析や差分像処理が可能な容量スキャン機能(オプション)があれば、3 Dビューアソフトウェア(オプション)を追加することで、より立体的な超音波映像データを構築し、内部の構造解析を強力にサポートすることができる。

反射強度と深さを同時に表示することができ、複合評価を行うことができる。

リアルタイムで±位相、強度、深さ、極性強調を比較解析することができる。

3 Dブラウザソフトウェア(オプション)
3 Dで形状を復元し、可視化し、水平、垂直方向に同時に360°回転させ、任意の視点で観察し、任意の位置に断面を表示することができる。
四、規格
FS100Ⅲ |
FS200Ⅲ |
FS300Ⅲ |
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サポートプローブ周波数(MHz) |
5~75 |
5~140 |
5~300 |
有効走査範囲(mm) |
350×350 |
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プローブ高さストローク(mm) |
80 |
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zui小走査ピッチ(µm) |
0.5 |
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zui大走査速度(mm/s) |
1,000 |
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外形寸法(mm) |
1,590×1,340×940 |
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質量(kg) |
約380 |
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電源仕様 |
AC100V/15A 50/60Hz |
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5 MHz未満のプローブはお問い合わせください。
この範囲以上のスキャン範囲にも対応していますので、お問い合わせください。
海外向けの場合は、他の仕様にも対応できます。
英語版ソフトも用意されています。
五、寸法図
